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PiPi小型等離子裝置 雅馬拓

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  • 产品说明
型號PM100
等離子方式RIE模式
電極構(gòu)造平行平板式
高頻輸出Max200W
頻率13.56MHz
電極尺寸W130×D130mm
外形尺寸W438×D520×H565mm
反應(yīng)氣體Ar
填充氣體N2或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量計流量計
控制方式程序控制
電源單相100V
真空泵（選配）油泵 135L/min（50Hz）

雅馬拓授權(quán)_水印版.jpg

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