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PDC610等離子清洗機 雅馬拓

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  • 产品说明
型號PDC610
等離子模式RIE/DP（固定模式）
電極構造3段獨立平行平板（固定）
高頻輸出Max600W
頻率13.56MHz
控制·顯示方式PLC·觸摸屏
反應腔尺寸W350×D270×H300mm
反應腔材質A5052
反應氣體2系統(tǒng)（Ar、O2）
填充氣體N2或干燥空氣
真空泵油泵（約345L/分）·標配
外形尺寸W600×D722×H700mm
外裝材質不銹鋼
電源3 相 AC200 50/60Hz 15A

雅馬拓授權_水印版.jpg

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